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真空蒸着装置のメンテナンスと安全作業方法
メンテナンスと潤滑は、耐用年数を延ばし、優れた性能を維持するために非常に重要です。 真空メタライザー作業環境を清潔に保つため、油汚れ、粉塵、腐食性ガス、液体が真空チャンバー、部品、電気部品に侵入しないようにしてください。作業状態を頻繁に観察し、異常なノイズが発生した場合は速やかに点検・対処し、定期的に潤滑油を給油してください。
1. 接地 真空蒸着機 信頼性が高くなければならず、接地装置の導電性は頻繁にチェックする必要があります。
2. 拡散ポンプは加熱前に必ず冷却水を供給してください。ポンプコアの焼損を防ぐため、ポンプが停止し、ポンプ温度が80℃未満になるまで冷却水を供給し続けてください。
3. 電極とフィルムの焼損を防ぐために、蒸着装置のすべての部品には蒸着前に冷却水を供給する必要があります。
4. 拡散ポンプが加熱されている場合、拡散ポンプのチャンバーはある程度の真空状態を維持し、ポンプオイルが酸化したり、ガスが急速に膨張して爆発したりしないように、大気と接触してはなりません。
5. 定期的に水流リレーを点検・調整し、水不足アラームの動作状態をチェックして、冷却水の供給を確保します。
6. ルーツポンプとロータリーベーンポンプのオイルレベルを確認し、定期的にオイルを補充し、マニュアルに従ってメンテナンスと潤滑を行ってください。
7. ロータリーベーンポンプがポンプオイルから水を排出するために毎日約 30 分間のガスバラスト時間を確保します。
8. 真空蒸着装置の部品を分解・組み立てる際は、信頼性の高いシール性能を確保するために、すべてのシール面を損傷から保護するように注意してください。
9. すべてのトランスミッションシャフトの真空シールはスケルトンオイルシールによって密閉されており、オイルシールには潤滑剤を補充する必要があります。潤滑剤は一定期間使用すると消費されるため、同じ潤滑剤を補充する必要があります。
10. すべての移動スイッチの位置を定期的にチェックし、すべての部品が正常に動作していることを確認します。
11. すべての減速機のオイルレベルとオイル品質を定期的に点検してください。
12. ロータリーベーンポンプとエアコンプレッサーの水を毎日排出します。
13. チャンバーの観察窓はポリメチルメタクリレート製です。有機溶剤で洗浄すると透明度が低下しますので、絶対に使用しないでください。柔らかい布と酸化ナトリウム（水に溶けると皮膚を腐食します）で拭いてください。
14. 真空蒸着機の主な伝動装置は同期ベルトであるため、すべての同期ベルトの動作状態を頻繁に点検し、最適な締め付け状態にない場合は適時に調整してください。
15. 作業中に突然停電が発生した場合は、直ちに真空蒸着装置のすべてのバルブを閉じ、拡散ポンプへの冷却水の供給を継続し、火傷を防止してください。拡散ポンプへの冷却水の供給が不可能な場合は、ポンプの外周面に冷却水を継続的に供給し、ポンプを冷却してください。
16. 作業者がチャンバー内で作業する場合、安全のため三角形のプレートにある「緊急停止」ボタンを押してロックする必要があります。
17. 真空蒸着装置を使用しない場合は、チャンバー、巻き取り装置、蒸発装置がほこりや蒸気で汚染されないように、チャンバーを清掃してチャンバーを閉じる必要があります。
18. 寒冷時に真空蒸着装置を使用しない場合は、凍結した水による破損を防ぐために、ポンプ、シールド、下見板、電極などの冷却水をすべて排出する必要があります。