高真空蒸着装置シリーズ

Al-ZnS二重用途真空蒸着装置

☑ 蒸着ボート型金属蒸着装置は、アルミニウムおよび硫化亜鉛（ZnS）の蒸着に適しています。

☑窒化ホウ素製ボートまたはモリブデン製ボートを交換することで、この装置は簡単かつ便利な交換作業で二重の機能を実現します。

☑この装置は、高いコーティング効率、優れた膜層均一性、および優れた動作安定性を実証しています。

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製品紹介

高出力抵抗加熱電源を使用することで、加熱システム全体にわたって均一な蒸発が保証されます。蒸発ボートは窒化ホウ素製で、上部クランプ式の千鳥配置を採用しています。ボートの積み下ろしは非常に簡単です。ワイヤ供給システムは、各機構を個別のステッピングモーターで駆動することで、安定したワイヤ供給を実現し、ワイヤ供給速度を集中管理しながら個別に調整できます。このワイヤ供給システムにより、成膜中のアルミニウム層の厚さをリアルタイムで調整することが可能です。

モリブデンボートは、その高い融点と優れた電気伝導性により、極めて高温の条件下でも高品質のZnS薄膜を成膜する上で卓越した性能を発揮します。るつぼ設計と比較して、モリブデンボートは構造が簡素化されており、製造コストとメンテナンスコストの両面でより高い経済効率を実現します。

蒸発システム全体は、運転調整を容易にし、高い蒸発速度を維持し、金属化の均一性とプロセスの安定性を確保することで、生産効率を大幅に向上させる。

注：掲載されている写真および機械の仕様は参考用であり、実際の構成とは異なる場合があります。