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真空蒸着機の保守および安全作業方法
メンテナンスと潤滑は、耐用年数を延ばし、優れた性能を維持するために非常に重要です。 真空蒸着装置作業環境を清潔に保つため、油汚れ、ほこり、腐食性ガス、液体が真空チャンバー、部品、電気部品に入らないようにしてください。作業状態を頻繁に観察し、異音が発生した場合は速やかに点検・解決し、定期的に潤滑を行ってください。
1. 接地 真空蒸着装置 接地装置は信頼性が高くなければならず、その導電率は頻繁に点検する必要がある。
2. 拡散ポンプは加熱前に冷却水を供給する必要があります。ポンプコアの焼損を防ぐため、ポンプが停止し、温度が80℃以下になるまで冷却水を供給し続けてください。
3. 電極やフィルムの焼損を防ぐため、真空蒸着装置のすべての部品に蒸着前に冷却水を供給する必要があります。
4. 拡散ポンプが加熱されているときは、ポンプオイルの酸化やガスの急激な膨張、爆発を防ぐため、チャンバー内は一定の真空状態を維持し、大気と接触させてはならない。
5. 冷却水の供給を確保するため、水流リレーを定期的に点検・調整し、水不足警報の動作状態を確認してください。
6. ルーツポンプとロータリーベーンポンプのオイルレベルを確認し、定期的にオイルを補充し、マニュアルに従ってメンテナンスと潤滑を行ってください。
7. ロータリーベーンポンプは、ポンプオイルから水分を排出するために、毎日約30分間のガスバラスト時間を確保してください。
8. 真空蒸着装置の部品を分解および組み立てる際は、すべてのシール面が損傷しないように注意し、確実なシール性能を確保してください。
9. 全てのトランスミッションシャフトの真空シールは、スケルトンオイルシールによって密閉されており、オイルシールには潤滑油を注入する必要があります。潤滑油は一定期間使用すると消費されるため、同じ潤滑油を補充する必要があります。
10. すべてのトラベルスイッチの位置を定期的に確認し、すべての部品が良好な動作状態にあることを確認してください。
11. すべての減速機の油量と油質を定期的に点検してください。
12. ロータリーベーンポンプとエアコンプレッサーの水を毎日抜いてください。
13. チャンバーの観察窓はポリメチルメタクリレート製です。有機溶剤で洗浄しないでください。透明度が低下します。柔らかい布と酸化ナトリウムで清掃してください（水に溶かすと皮膚を腐食します）。
14. 真空蒸着機の主要な伝動装置は同期ベルトであるため、すべての同期ベルトの動作状態を頻繁に確認し、最適な張力がない場合は適時に調整してください。
15. 作業中に突然停電が発生した場合は、真空蒸着機のすべてのバルブを直ちに閉じ、拡散ポンプへの冷却水の供給を継続して、焼損を防がなければなりません。拡散ポンプに冷却水を供給できない場合は、ポンプの外部表面に冷却水を継続的に注ぎ、ポンプを冷却しなければなりません。
16. 作業者がチャンバー内で作業しているときは、安全のため、三角形のプレートにある「緊急停止」ボタンを押してロックする必要があります。
17. 真空蒸着機を使用しない場合は、チャンバーを清掃し、チャンバー、巻線装置、蒸発装置がほこりや蒸気で汚染されないようにチャンバーを密閉する必要があります。
18. 寒冷時に真空蒸着装置を使用しない場合は、ポンプ、シールド、仕切り板、電極などの冷却水をすべて抜き、凍結による破損を防がなければなりません。